石墨軟氈是將硬氈經過石墨化制成，它具有質輕、擾性好，炭含量高、耐高溫、高溫無揮發，耐腐蝕，導熱系數小的性能，并有高度的形狀保持性，是高溫真空電阻爐，特別適用于半導體的特種材料，制備爐的優良保溫材料，也是抗腐蝕的過濾材料。

　　石墨軟氈的主要特性:

　　1、導熱系數低

　　2、比熱低

　　3、熱穩定性高

　　4、阻抗良好

　　5、加工簡單

　　6、表面性能好

　　7、純度高

　　8、結構非常均勻

　　9、不產生靜電

　　石墨硬氈主要應用在:真空爐隔熱； 惰性氣體爐隔熱；多晶硅/單晶硅爐隔熱

　　主要特點:低導熱系數；高純度；高熱穩定性；抗侵蝕；易切割加工

　　1、電極的設計:可減少單個電極的數量/可做成組合電極；能節省電極夾具系統從而節省費用

　　2、電極的加工制作:高速銑粗加工較銅塊3倍；高速銑精加工較銅快5倍；可加工性好；能實現復雜的幾何造型

　　3、重量輕，其密度不足銅的1/4:熱穩定性好（不變形）；可減少單個電極的數量/可做成組合電極；無需去毛刺；電極易夾持

　　4、電火花放電加工EDM:粗加工時電極損耗小；工作去除率高；可減少單個電極的數量/可做成組合電極；在電解液中對環境無污染；重量輕，其密度不足銅的1/4；優良的熱穩定性，電極不變形；選用細顆粒的石墨電極能加工出高品質的工件表面加工不同的工件可選用不同牌號的石墨材料