本儀器是CMP在線檢測儀用于CMP機(jī)臺端拋光液在線檢測，可以監(jiān)測CMP拋光液中大粒子含量，可以很好的控制拋光效率，提高成品率。

　　AccuSizer780系列采用先進(jìn)的SPOS單顆粒技術(shù)和帶有專利的自動稀釋進(jìn)樣模塊，能真實(shí)地測試出樣品尾端大粒子的粒度分布和顆粒濃度，具有超高的辨析率和快速測試能力。最高計數(shù)可達(dá)到E11個/mL,從而確保各種分散體系的穩(wěn)定性和品質(zhì)。

　　單顆粒傳感技術(shù)填補(bǔ)了其他技術(shù)在檢測粒徑分布中的重要不足——粒子數(shù)量的統(tǒng)計。自AccuSizer780系列儀器誕生，以往以犧牲精確性和分辨率來換取檢測速度和易用的歷史一去不復(fù)返！

　　測試范圍:0.15 μm –2500μm。

　　AccuSizer 780系列可為超大粒徑顆粒提供最可靠、最準(zhǔn)確的粒徑和計數(shù)數(shù)據(jù)。AccuSizer780系列儀器揭示出了不同于以往的粒徑分布數(shù)據(jù)。

　　AccuSizer780系列可以清晰準(zhǔn)確地呈現(xiàn)粒徑分布，而粒徑分布往往是直接與材料物性相關(guān)聯(lián)的。從研發(fā)到生產(chǎn)，全球各大實(shí)驗(yàn)室均已應(yīng)用并驗(yàn)證了AccuSizer 780系列儀器可以用作重塑產(chǎn)品品質(zhì)的強(qiáng)有力工具。

　　AccuSizer 780系列多功能自動計數(shù)粒徑檢測儀是創(chuàng)先使用自動稀釋技術(shù)來對樣品進(jìn)行檢測，且提供高分辨率的粒徑檢測分析儀。

　　AccuSizer 780系列光阻法單顆粒分析儀采用擁有專利的單顆粒測量技術(shù)（SPOS）和動態(tài)自動稀釋技術(shù)實(shí)現(xiàn)單顆粒依次檢測分析，具有極佳的靈敏度、解析度和精確度，不存在顆粒間相互干擾問題。由于獲得的是真實(shí)粒度分 布，因此測量結(jié)果重復(fù)性好、準(zhǔn)確可靠、統(tǒng)計精度高，特別適于檢測分析亞微米顆粒體系中較大顆粒的分布信息。動態(tài)自動稀釋和清洗系統(tǒng)使得測試方便快捷。只需通過鼠標(biāo)的單擊操作，即能幫助用戶在短時間內(nèi)完成從進(jìn)樣到檢測，進(jìn)而清洗系統(tǒng)的所有操作，使用戶獲得粒徑的詳細(xì)分布信息。

　　近期獨(dú)立試驗(yàn)證明:在檢測離群值（尾部大顆粒）時，單顆粒傳感技術(shù)（SPOS）比光散射法和聲學(xué)法敏感1,500到25,000倍。

　　應(yīng)用單顆粒傳感技術(shù)（SPOS）的AccuSizer 780系列光阻法單顆粒分析儀儀器更加穩(wěn)定和靈敏，一次只允許一個粒子通過檢測器，可以避免錯過任何一個粒子。

　　粒子靈敏度 ≤10PPT

　　粒徑準(zhǔn)確度在 ≤2%

　　粒子計數(shù)準(zhǔn)確度 ≤10%

　　AccuSizer 780 CMP在線檢測儀自動稀釋模塊簡介

　　AccuSizer 780 系列光阻法單顆粒分析儀自動稀釋模塊是設(shè)備模塊化大家庭的基礎(chǔ)，AccuSizer780將一系列具有廣泛檢測范圍的傳感器和一步稀釋裝置組合在一起，可以提供靈活多樣的具有高分辨率、準(zhǔn)確度和靈敏度的粒徑檢測儀。其史無前例地提供了高分辨率和精確度的粒徑分布信息，不僅僅提供大數(shù)據(jù)量的統(tǒng)計學(xué)分布信息，還適用于亞微米級別的尾部大顆粒的數(shù)量統(tǒng)計。具有專利的自動稀釋模塊取代了手動稀釋高濃度樣品，使得分析更加迅速和方便，不需要培訓(xùn)就可以使測試結(jié)果具有良好的可重復(fù)性。

　　CMP在線檢測儀工作原理示意圖:

　　CMP在線檢測儀應(yīng)用領(lǐng)域:

　　·醫(yī)藥領(lǐng)域:乳劑，注射劑，脂質(zhì)體，膠體，混懸劑，滴眼液，高分子，病毒，疫苗等；

　　·半導(dǎo)體:CMP Slurry，芯片，晶圓加工等；

　　·特殊化工品:墨水&噴墨，納米材料，化工染料，潤滑劑，清洗劑等。

　　·其他:過濾產(chǎn)品，清潔度方面，食品飲料，化妝品等